Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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O: Oberflächenphysik

O 21: Methodisches (Experiment und Theorie) (II)

O 21.10: Vortrag

Dienstag, 24. März 1998, 18:30–18:45, H44

Einfluß der Oberflächenmorphologie auf die Schichtdickenbestimmung mit XPS — •P. Kappen¹, K. Reihs², M. Voetz², C. Seidel¹ und H. Fuchs¹ — ¹Physikalisches Institut, Westfälische Wilhelms-Universität Münster, Wilhelm-Klemm-Straße 10, D-48149 Münster — ²Bayer-AG, Zentrale Forschung, ZF-FPO, Geb. E41, D-51368 Leverkusen

Der Bestimmung der Dicke weniger Nanometer dünner Filme liegt das Lambeert’sche Gesetz zugrunde. Eine Auswertung von Daten aus XPS-Messungen liefert mit diesem einen exponentiellen Zusammenhang, vorausgesetzt die untersuchte Probe ist auf atomarer Skala glatt. Das jedoch trifft für technische Proben meist nicht zu.
Wir haben daher den Effekt der Oberflächenmorphologie auf die Schichtdickenbestimmung erfaßt. Hierzu dient ein Modell vereinfachter Geometrie.
Bestätigt werden die Ergebnisse durch den Vergleich von Messungen an glatten und texturierten Proben.