Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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O: Oberflächenphysik

O 34: Poster (II)

O 34.45: Poster

Donnerstag, 26. März 1998, 20:00–22:30, Bereich C

Elektroneninduzierte thermoakustische Wellen auf RKM - Cantilevern im kombinierten Rasterelektronen-Rasterkraft Mikroskop und deren Anwendung. — •A. Vaut, G. Becker und H. Fuchs — Universität Münster, Physikalisches Institut, Wilhelm-Klemm-Str. 10, 48149 Münster

Der Cantileverchip eines RKM, welches in die Vakuumkammer eines Rasterelektronenmikroskopes (REM) integriert ist, wurde mit dem Elektronenstrahl des REM abgerastert. Durch Pulsen des Elektronenstrahls mit der Resonanzfrequenz des Cantilevers wird dieser zu Schwingungen angeregt. Bei Abrasterung des Cantilevers selbst zeigen sich in Abhängigkeit von der Position der Anregung Unterschiede in der Amplitude und der relativen Phasenlage zwischen der Anregung und der Schwingung. Bringt man auf dem Chip Proben auf, so lassen sich in diesen mechanische Spannungen detektieren. Die thermische Wechselwirkung erzeugt eine akustische Welle, die mit dem Cantilever sehr empfindlich detektiert werden kann. Die Informationstiefe ist hierbei durch die Strahlparameter direkt beeinflussbar. Gleichzeitig zu diesen thermoakustischen Aufnahmen kann ohne Mehraufwand das Sekundärelektronenbild der Probe aufgenommen werden.