Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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O: Oberflächenphysik

O 34: Poster (II)

O 34.46: Poster

Donnerstag, 26. März 1998, 20:00–22:30, Bereich C

Untersuchung eines neuartigen Röhrchenscanners zur Kompensation der sphärischen Verkippung in der Rastersensormikroskopie — •M. Hannß, W. Naumann und R. Anton — Institut für Angewandte Physik und Zentrum für Mikrostrukturforschung, Universität Hamburg, Jungiusstraße 11, 20355 Hamburg

Bei AFM Untersuchungen großer Probenbereiche wurde beobachtet, daß in größeren Entfernungen von der Piezoachse Verzerrungen und Kalibrierungsfehler auftreten. Grund hierfür ist die bei einem herkömmlichen Röhrchenpiezo sphärische Scanfläche. Hierdurch verändern sich die Auslenkungsrichtung des Cantilevers und die Flächennormale der Probe während des Scanvorganges relativ zueinander.

Es wurde ein Röhrchenscanner aufgebaut, dessen Außenelektroden mittig geteilt sind. Durch kreuzweise Belegung der X- und Y- Spannungen wird ein S-förmiges Auslenkungsverhalten erreicht. Somit tritt die durch die sphärische Scanfläche des Piezos bedingte Verkippung der Probennormalen nicht mehr auf. Aufgrund des symmetrischen Aufbaus sind die relativen Z-Auslenkungen für alle Bildausschnitte auf einer beliebig großen Probe identisch.

Anhand von Beispielmessungen auf NaCl Spaltflächen wurde der Aufbau getestet und mit einem herkömmlichen Scanner verglichen.