Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm
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O: Oberflächenphysik
O 34: Poster (II)
O 34.75: Poster
Donnerstag, 26. März 1998, 20:00–22:30, Bereich C
Charakterisierung einer atomaren Wasserstoffquelle — •CHRISTIAN EIBL, GERALD LACKNER und ADOLF WINKLER — Institut für Festkörperphysik, TU-Graz, Petersgasse 16, A-8010 Graz
Um quantitative Aussagen über den Haftkoeffizienten von Wasserstoffatomen auf Festkörperoberflächen bzw. über andere Reaktionsparameter gewinnen zu können, muß die atomare Quelle bezüglich des Dissoziationsgrades und der Winkelverteilung der ausströmenden Atome charakterisiert werden. Die von uns verwendete atomare Quelle nach dem Prinzip von Bischler und Bertel[1] besitzt einen hohen Dissoziationsgrad von etwa 98% für ausreichend geringe Teilchendurchflüsse. Die Winkelverteilung des atomaren Ausflusses aus der Quelle wurde mit einer polykristallinen Goldfolie als Detektor bestimmt, da der Haftkoeffizient für molekularen Wasserstoff auf Gold vernachlässigbar gering ist. Die Winkelverteilung wurde auch mittels Monte Carlo Simulation berechnet und mit den experimentellen Ergebnissen verglichen. Weiters wurde der Haftkoeffizient für atomaren Wasserstoff auf Gold zu S0=0.5 und die Sättigungsbedeckung zu 5.3· 1015 Atome/cm2 bestimmt. [1] U. Bischler und E. Bertel, J.Vac.Sci.Technol. A 11(1993) 458.