Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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TT: Tiefe Temperaturen

TT 3: Supraleitende Filme I

TT 3.6: Vortrag

Montag, 23. März 1998, 11:45–12:00, H 20

Herstellung und Charakterisierung von YBaCuO/PZT/Au-
Dünnfilmheterostrukturen — •R. Aidam und R. Schneider — Forschungszentrum Karlsruhe, INFP, Postfach 3640, D-76021 Karlsruhe

Dünnfilmheterostrukturen bestehend aus (001)-orientiertem supraleitendem YBa₂Cu₃O₇ und ferroelektrischem PbZr_xTi_1−xO₃ (PZT) Lagen wurden in situ auf (100) SrTiO₃- und MgO-Substraten unter Verwendung von invertierten Zylindermagnetrons gesputtert. Die Depositionsparameter wurden optimiert, um nahezu stöchiometrische ferroelektrische PZT-Lagen auf YBaCuO ohne Beimischungen von paraelektrischer, pyrochlorer Phase zu erreichen. Das epitaktische Wachstum wurde mittels Röntgenbeugung und Channeling-Messungen untersucht. Es wurden Mosaikbreiten von 0.2^∘ und eine minimale Ausbeute von 7% für PZT erreicht. Die ferroelektrische Eigenschaft der PZT-Schichten wurden mit Hilfe von Parallelplattenkondensatoren und eines modifizierten Sawyer-Tower-Schaltkreises im Temperaturbereich zwischen 4.2 und 300 K untersucht. Die remanente Polarisation und die Koerzitivfeldstärke der Hystereseschleife betragen 60 µC/cm² und 200 kV/cm bei 4.2 K. Ferroelektrische supraleitende Feldeffekttransistoren wurden hergestellt. Modulationen des elektrischen Widerstandes und der kritischen Stromdichte von 12 bzw. 10% wurden im YBaCuO-Kanal beobachtet.