Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 10: In-situ-Charakterisierung II

DS 10.2: Fachvortrag

Montag, 27. März 2000, 11:15–11:30, H32

Quadrupol-Massenspektrometer in der Beschichtungstechnologie — •Guenter Peter und Norbert Mueller — Balzers Instruments, P.O. Box 1000 , FL-9496 Balzers

Quadrupol-Massenspektrometer werden in den meisten Beschichtungsanlagen bereits routinemaessig als Restgasanalysatoren eingesetzt. Daneben findet man diese Massenspektrometer in vielen Analysensystemen als funktionale Einheiten. Im einzelnen sind hier GCMS, SIMS, Thermoanalyse-MS, Leckdetektoren aller Art, Oberflaechendesorption und Spurenanalytik zu nennen. Weiterhin lassen sich mit diesen Massenspektrometern eigenstaendige Geraete realisieren, die als virtuose Sensoren eingesetzt werden koennen. Hier sind vor allem Quadrupol-Massenspektrometer als Endpunktsdetektoren bei Ion-Milling Applikationen, Geraete zur materialspezifischen Messung von Aufdampfraten und eine Kombination von Energie- und Massenfilter als Plasma- Monitor zu nennen. Der prinzipielle Aufbau von Endpunktsdetektoren, eines Rate-Monitors und eines Plasma-Monitors wird zusammen mit ausgewaehlten Applikationen diskutiert.