Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 14: Schichtcharakterisierung I

DS 14.2: Fachvortrag

Dienstag, 28. März 2000, 16:30–16:45, H31

Charakterisierung dünner SBT-Filme auf Elektroden mit Schichtstruktur mittels Röntgenreflektivität — •Markus Aspelmeyer¹, Uwe Klemradt¹ und Günther Schindler² — ¹Sektion Physik und Center for Nano Science (CeNS), LMU München, Geschw.-Scholl-Pl.1, 80539 München — ²Infineon AG, Abt. MP TD Fe, Otto-Hahn-Ring 6, 81739 München

Die Funktionalität dünner ferroelektrischer SrBi₂Ta₂O₉(SBT)-Filme in FeRAM-Anwendungen hängt im allgemeinen stark von der Elektroden- und Filmqualität und deren Grenzflächen ab. Mit Hilfe von spekulärer und diffuser Röntgenstreuung unter streifenden Winkeln wurden strukturelle Eigenschaften dünner SBT-Filme mit ca. 100 nm Schichtdicke sowie die Eigenschaften innerer und äusserer Grenzflächen der Elektroden untersucht. Die untersuchten Elektroden bestanden aus Pt auf einer Haftvermittlerschicht aus Ti, die auf einen Si / SiO₂-Wafer aufgebracht und bei verschiedenen Temperaturen getempert worden war. Unterschiede in der damit verbundenen Interdiffusion der Pt- und Ti-Schicht spiegeln sich deutlich in den Röntgendaten wider. Die mittels Spin-Coating aufgebrachten SBT-Filme wurden für Temperaturen zwischen 250K und 350 K untersucht. Die beobachtete reversible Temperaturabhängigkeit der Streudaten wird im Hinblick auf thermische Ausdehnung und Domänenbildung diskutiert.