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DS: Dünne Schichten

DS 28: Ionenimplantation I

DS 28.1: Hauptvortrag

Donnerstag, 30. März 2000, 09:30–10:15, H31

Strukturierung dünner Schichten durch Schwerionen-Bestrahlung — •K. -P. Lieb — II. Physikalisches Institut und SFB 345, Universität Göttingen; 37073 Göttingen, Germany.

Die hohe lokale Energiedeposition von bis zu 10 keV/nm beim Beschuss mit schweren Ionen erzeugt in den oberflächennahen Schichten eine Reihe von Modifikationen, wie z. Bsp. morphologische und magnetische Texturierungen, Amorphisierung und/oder epitaktische Rekristallisation, Sputter-Erosion, und Ionenmischen. Der Vortrag hebt auf folgende Ziele ab: Anhand zweier Themenbereiche, nämlich der dynamischen bzw. chemisch getriebenen epitaktischen Rekristallisation von Quarz [1,2] und der Strukturierung von Graphitoberflächen infolge Ionenbestrahlung [3], werden ioneninduzierte Selbstorganisation-Prozesse vorgestellt. In beiden Systemen liegen systematische Untersuchungen als Funktion der Ionenmasse, -energie und -fluenz und der Substrattemperatur vor. Ausserdem soll der Einsatz ionenstrahlanalytischer Methoden (wie Channeling, Kernreaktionsanalyse und Rutherford-Rückstreuung) bei der Strukturaufklärung verdeutlicht werden [4].

[1] F. Roccaforte, W. Bolse, K.P. Lieb, Appl. Phys. Lett. 73 (1998) 1922; 74 (1999) 1922; Nucl. Instr. Meth. B148 (1999) 692; F. Roccaforte, et al., Appl. Phys. Lett. 75 (1999) 2903; M. Gustafsson, et al., Phys. Rev. B, im Druck.

[2] S. Dhar, W. Bolse, K. P. Lieb, J. Appl. Phys. 85 (1999) 3120.

[3] S. Habenicht, et al., Phys. Rev. B60 (1999) R2200.

[4] K. P. Lieb, Contemp. Physics 40 (1999) 695.