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DS: Dünne Schichten
DS 31: Ionenimplantation IV
DS 31.1: Fachvortrag
Donnerstag, 30. März 2000, 14:00–14:15, H31
Durch Ionenbestrahlung induzierte Formänderungen von ungeordneten und geordneten metallischen Nanostrukturen — •M. Denk1, J. Blässing1, R. Durner1, B. Heinz1, J. Eisenmenger1, P. Ziemann1, F. Burmeister2, J. Boneberg2 und P. Leiderer2 — 1Abteilung Festkörperphysik, Universität Ulm, 89069 Ulm — 2Fakultät für Physik, Universität Konstanz, 78434 Konstanz
Die physikalischen Eigenschaften makroskopischer ausgedehnter Metallfilme lassen sich durch Ionenbestrahlung oder -implantation in vielfacher Weise gezielt beeinflussen. Um zu testen, ob diese Technik auch auf Nanostrukturen anwendbar bleibt, wurden ungeordnete und geordnete laterale Muster auf der Nanoskala durch Aufdampfen ultradünner (1-30 nm) AuIn2-Filme unterhalb ihrer Perkolationsgrenze oder durch geordnete Kolloidmasken präpariert und mit leichten (He+) bzw. schweren (Ar+) Ionen bei 90 K und 300 K bestrahlt. Aus AFM Untersuchungen vor und nach der Ionenbestrahlung lassen sich die induzierten Formänderungen eindeutig ableiten. Im konkreten Fall ungeordneter eng benachbarter AuIn2-Nanostrukturen beobachtet man stets ein ioneninduziertes Wachstum der Strukturen, welches bei 300 K und bei schweren Ionen am ausgeprägtesten ist. In den ausgedehnteren geordneten Nanostrukturen findet man überraschenderweise ein Wachstum zusätzlicher hochsymmetrischer Nanoinseln.