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DS: Dünne Schichten

DS 34: Mechanische Eigenschaften

Thursday, March 30, 2000, 11:15–12:00, H32

11:15 DS 34.1 Fachvortrag: Untersuchung der mechanischen Eigenschaften freistehender polykristalliner CVD-Diamantschichten durch lasergenerierte akustische Oberflächenwellen — •C.M. Flannery, M.D. Whitfield, and R.B. Jackman
11:30 DS 34.2 Fachvortrag: Raman-spektroskopische Untersuchung des Spannungszustandes in Silizium-Substraten in der Nähe von Pt/PZT-Mikrostrukturen — •Rhena Krawietz, Wolfgang Pompe und Valter Sergo
11:45 DS 34.3 Fachvortrag: Spannungsrelaxation in a-Si durch Ionenbeschuß — •Monika Koster und Herbert M. Urbassek
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