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DS: Dünne Schichten

DS 37: Elektrische Eigenschaften

DS 37.3: Fachvortrag

Thursday, March 30, 2000, 17:45–18:00, H32

Deposition von Pb(Zr,Ti)O₃-Dünnschichten auf Substraten mit Formgedächtniseffekt — •W. Biegel, R. Klarmann, M. Kuhn und B. Stritzker — Universität Augsburg, Institut für Physik, 86135 Augsburg

Gepulste Laserablation (PLD) wurde eingesetzt, um NiTi-Substrate mit La-dotiertem Pb(Zr,Ti)O₃ (PZT) zu beschichten. Die Substratlegierung mit der Zusammensetzung Ni₅₀Ti₅₀ weist bei Temperaturänderung einen starken Formgedächtniseffekt mit Übergangstemperaturen von etwa 100 ^∘C auf. Dieser einfache, zweikomponentige Aufbau (PZT // NiTi) besitzt das Potential eines Aktors (Formänderung von NiTi bis zu 5%) mit einer inherenten, sensorischen Komponente (PZT) zur Detektion der erzeugten Auslenkung. Die auf dem NiTi deponierten PZT-Schichten wurden hinsichtlich ihrer strukturellen Eigenschaften (XRD) und ihrer ferroelektrischen Eigenschaften (P-E Hysterese) charakterisiert. Bei geeigneten Depositionsparametern wird überwiegend die perowskitische Phase des PZT gebildet, deren ferroelektrische Hysterese sich mit dem Verformungsgrad des NiTi-Substrats ändert.