Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 38: Postersitzung

DS 38.54: Poster

Dienstag, 28. März 2000, 09:30–17:30, Poster B

YBCO-Beschichtung von bewegten Substraten durch MOCVD — •Oliver Stadel¹, Juergen Schmidt¹, Georg Wahl¹, Sergej Samoylenkov², Oleg Gorbenko² und Andrej Kaul² — ¹TU Braunschweig, Institut fuer Oberflaechentechnik, Bienroder Weg 53, 38108 Braunschweig — ²Chemistry Department, Moscow State University, 119899 Moscow

Die Herstellung von supraleitenden YBCO-Baendern besitzt vielversprechende Anwendungen in der Industrie. YBCO-Schichten hoher Qualitaet koennen mit verschiedenen Beschichtungstechniken hergestellt werden. MOCVD ist eine bekannte Moeglichkeit mit hohen Aufwachsraten bei niedrigen Herstellungskosten YBCO-Schichten herzustellen.

Eine MOCVD Laboranlage wurde fuer die kontinuierliche Beschichtung von bewegten Baendern aufgebaut. Sie besteht aus einem nahezu geschlossenen zylinderfoermigen Heisswandreaktor, der eine Oeffnung im Zylinderdeckel fuer den Precursorgaseinlass und im Boden eine Oeffnung fuer den Gasauslass hat. Durch seitliche duenne Schlitze wird das Substrat auf einem Halter gezogen. Mit diesem System wurden auf kontinuierlich bewegten Einkristallen YBCO Schichten mit kritischen Stromdichten ueber 1 MA/cm² bei 77 K und sehr guten kristallinen Eigenschaften erreicht. Die lokalen Aufwachsraten betrugen bis zu 15 Mikrometer pro Stunde. Eine neue MOCVD-Anlage fuer die Bandbeschichtung ist nahezu fertiggestellt. Die Abscheidezone wurde um den Faktor 15 vergroessert. Sie wird dann die Kapazitaet haben auf texturierten Nickelbaendern oder IBAD-Baendern YBCO-Schichten mit einer Beschichtungsgeschwindigkeit von ungefaehr 3,5 m/h herzustellen.