Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm
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DS: Dünne Schichten
DS 38: Postersitzung
DS 38.8: Poster
Dienstag, 28. März 2000, 09:30–17:30, Poster B
XPS-Untersuchungen an durch DC-Magnetronsputtern abgeschiedenen ITO-Schichten — •Tin Maung Tun, Hartmut Steffen, Harm Wulff, Marion Quaas und Rainer Hippler — Inst. f. Physik, UNI Greifswald, Greifswald
Dünne ITO-Schichten wurden durch DC-Magnetronsputtern von einem
In/Sn(9:1)-Target in Ar/O2 abgeschieden. O2-Fluss und externe
Substratspannung wurden variiert. Entladungsleistung, Ar-Fluss und
Prozessdruck wurden konstant gehalten. Die abgeschiedenen Schichten
wurden unter UHV-Bedingungen in ein Oberflächenanalysesystem
transportiert und mittels XPS hinsichtlich Elementzusammensetzung und
chemischen Bindungen untersucht.
Mit steigendem O2-Fluss nimmt der Sauerstoffanteil in den Schichten
zu. Stöchiometrische Schichten wurden jedoch nur vom oxidierten
Target abgeschieden. Der Sauerstoffeinbau in die Schichten nimmt mit
steigender externer Substratspannung ab. Dieses Verhalten wird auf ein
verstärktes Resputtern von Sauerstoff zurückgeführt und durch
eine Bilanzgleichung beschrieben.