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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

Mo, 10:00–12:40 H\"orsaal 47 VA 1: Vakuumverfahrenstechnik: Flachbildschirme
Mo, 15:00–17:20 H\"orsaal 47 VA 2: Vakuummesstechnik I: Totaldruckmessung
Mo, 17:20–18:00 H\"orsaal 47 VA 3: Vakuumtechnik
Di, 10:00–11:20 H\"orsaal 47 VA 4: Beschichtungstechnik
Di, 11:20–12:20 H\"orsaal 47 VA 5: Vakuummesstechnik II: Partialdruckmessung
Di, 15:00–16:40 H\"orsaal 47 VA 6: Ausgasung und Oberfl
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