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Hamburg 2001 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 17: Ionenimplantation III

Thursday, March 29, 2001, 11:15–12:15, S 5.1

11:15 DS 17.1 Untersuchung ionenstrahlinduzierter Festkörperreaktionen in Si/C Schichtpaketen mittels EXAFS und FTIR — •F. Harbsmeier, A.-M. Flank, F. Roccaforte und W. Bolse
11:30 DS 17.2 EFTEM Charakterisierung nanometrischer SiCx Ausscheidungen und deren thermisches Verhalten — •Maik Häberlen, J.K.N. Lindner und B. Stritzker
11:45 DS 17.3 Epitaxial regrowth of Na-implanted α-quartz — •S. Dhar, M. Lang, K. P. Lieb, T. Sajavaara und J. Keinonen
12:00 DS 17.4 Ion Acoustic Microscopy for Imaging of Buried Structures Based on a Focused Ion Beam System — •Chavkat Akhmadaliev, Lothar Bischoff, Jochen Teichert, Kassym Kazbekov, and Bernd Köhler
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