Regensburg 2002 – wissenschaftliches Programm
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DS: Dünne Schichten
DS 21: Multilayer I
DS 21.1: Vortrag
Donnerstag, 14. März 2002, 14:00–14:15, HS 31
Nanostrukturierung von Vielfachschichten durch einen thermisch aktivierten Selbstordnungsprozess — •Carsten Herweg1, Sebastian Dreyer1, Peter Troche1, Christian Lang1, Jörg Hoffmann2, Sibylle Sievers1 und Herbert C. Freyhardt1,2 — 1Institut für Materialphysik, Universität Göttingen, 37073 Göttingen — 2Zentrum für Funktionswerkstoffe ZFW gem. GmbH, 37073 Göttingen
Vielfachschichten aus zwei nicht mischenden metallischen (Nb/Cu, Fe/Ag, Fe/Au) bzw. Metall/Metalloxid (Ni/NiO) Komponenten dienten als Ausgangspunkt für eine Strukturierung auf Nanometerskala. Die Herstellung erfolgte mittels Magnetron- bzw. reaktiven Ionenstrahlsputterns. Durch gezielte thermische Behandlung kann ein Zerfallsprozess der Schichten einer Komponente ausgelöst werden, was zu einem granularen System von nahezu sphärischen Partikeln mit Durchmessern von 5-30nm führt. Diese ordnen sich nicht-statistisch in Ketten senkrecht zur ehemaligen Schichtstruktur an. Hierzu relevante physikalisch Größen werden erläutert. Eine ausführliche mikrostrukturelle Charakterisierung erfolgte durch XRD und TEM. Magnetoresistive Messungen bei T=4,2K zeigen ein deutliche Veränderung der Charakteristik. Um weitere Informationen über die Entstehung der für den selbstordnenden Zerfall essentiellen Mikrostruktur zu erhalten, wurden Leitfähigkeitsmessungen während der Deposition und während des folgenden thermischen Behandlungsprozesses durchgeführt. Untersuchungen auf vorstrukturierten Substraten sollen in Zukunft Aufschluss geben, wodurch der Zerfallsprozess gezielt beeinflusst und kontrolliert werden kann. Diese Arbeit wird im Rahmen des Projektes 452/4-2 durch die DFG gefördert.