Regensburg 2002 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 27: Postersitzung

DS 27.35: Poster

Dienstag, 12. März 2002, 15:30–17:30, Poster Physik B

Optische Eigenschaften und Struktur dünner Polyimidschichten — •M. Gensch¹, K. Hinrichs¹, E.H. Korte¹, A. Röseler¹, K. Sahre² und K. -J. Eichhorn² — ¹ISAS-Institutsteil Berlin, Albert Einstein-Str. 9, D12489 Berlin Adlershof — ²Institut für Polymerforschung, Hohe Str. 6, D-01062 Dresden

Polyimidschichten verschiedener Dicken auf Silizium-Substraten wurden mit Ellipsometrie sowie Reflexions- und Transmissionsspektroskopie im infraroten Spektralbereich untersucht. Die Dicken und die anisotropen optischen Eigenschaften der Schichten wurden bestimmt. Im untersuchten Spektralbereich von 400−4000 cm⁻¹ liegen die Absorptionsbanden der molekülspezifischen Schwingungen. Die gemessenen ellipsometrischen Spektren wurden mit einem anisotropen Schichtenmodell modelliert [1,2], in dem die Absorptionsbanden durch harmonische Oszillatoren beschrieben werden. Dabei ergeben sich richtungsabhängige Parameter für die Oszillatorstärken. Mit den komplementären Informationen der unterschiedlichen Spektroskopiemethoden ist es dann möglich, die Orientierung der Dipolmomente von Molekülschwingungen zu den Raumachsen in den Schichten eindeutig zu bestimmen. Die Schichtdickenabhängigkeit ausgewählter Parameter wird diskutiert. [1] R. M. Azzam and N.M. Bashara, Ellipsometry and polarized light, (North Holland Publ. Comp. Amsterdam-New York-Oxford 1977) [2] M. Schubert, Phys. Rev. B 53, 4265 (1996)