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AIW: Ausschuss Industrie und Wirtschaft

AIW 1: Industrietag: KOMMUNIKATION: Hardwarekomponenten

AIW 1.2: Fachvortrag

Thursday, March 27, 2003, 10:45–11:15, HSZ 03

Kurze Wellenlängen für die Informationsgesellschaft — •Manfred Rahe — Lambda Physik AG, Göttingen

In unserer Informationsgesellschaft wird ein moderner Büroarbeitsplatz durch Laptop, Internetanschluss, Farbdrucker und Mobiltelefon wesentlich bestimmt. Für die Herstellung dieser Geräte bzw. für die Bereitstellung von Informationsdiensten sind Strahlquellen mit kurzen Wellenlängen (UV, VUV, EUV) von zentraler Bedeutung. Anhand ausgewählter Beispiele, wie der Mikrolithographie, der Herstellung von TFT-Displays, dem Bohren feinster Düsen für Tintenstrahldrucker und dem Schreiben von Phasengittern in optischen Fasern wird der Einsatz und die Bedeutung der Excimerlaser- und Plasmaquellen-Technologien dargestellt.