Dresden 2003 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 20: Schichteigenschaften

Donnerstag, 27. März 2003, 10:15–11:00, GER/38

	10:15	DS 20.1	Diffusion phenomena in ultrathin Ta-based barrier layers for Cu metallization — •René Hübner, Michael Hecker, Norbert Mattern, and Klaus Wetzig
	10:30	DS 20.2	Thermal stability of sputtered titanium oxynitride films — •Sodky Hamed Mohamed, Oliver Kappertz, Tim Niemeier, Robert Drese, and Matthias Wuttig
	10:45	DS 20.3	XPS-Untersuchungen dünner PLD-PrxOy-Schichten auf Si(100) — •Markus Ratzke, Dirk Wolfframm, Mathias Kappa, M.J. Montenegro, M. Döbeli, Thomas Lippert und Jürgen Reif