Dresden 2003 – scientific programme
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DS: Dünne Schichten
DS 24: Poster
DS 24.15: Poster
Tuesday, March 25, 2003, 14:30–17:00, P2a
Massenspektrometrische Untersuchungen in einer DC-Magnetronentladung — •Stefan Wrehde, Oleg Zhigalov, Hartmut Steffen und Rainer Hippler — IfP, Universität Greifswald
In einem DC-Magnetronplasma zur reaktiven Abscheidung von TiNx/TiOx-Schichten wurden mittels Plasmamonitor Messungen zum Einstrom von Ionen auf das Substrat durchgeführt. Mit Hilfe des Ionensättigungsstromes konnten die Ionenstromdichten absolut ermittelt werden.
Kammerdruck, Entladungsleistung, Reaktivgasfluss und Betriebsmodus des Magnetrons (balanced oder unbalanced) beeinflussen sowohl die Form der Ionenenergieverteilungsfunktionen als auch die Ionenstromdichten. Die Form der Ionenenergieverteilungsfunktion kann im wesentlichen über den Verlauf des Potentials am Plasma-Wand-Übergang und durch Berücksichtigung von Sputter- bzw. Stoßprozessen erklärt werden.