Dresden 2003 – wissenschaftliches Programm
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DS: Dünne Schichten
DS 24: Poster
DS 24.29: Poster
Dienstag, 25. März 2003, 14:30–17:00, P2a
Untersuchungen des Korrosionsschutzes von ultradünnen Kohlenstoffschichten für Festspeicherplatten mittels mikro-XANES und mikro-XPS — •P. Bernhard1, Ch. Ziethen1, R. Ohr2, F. Senf3, H. Hilgers2 und G. Schönhense1 — 1Johannes Gutenberg-Universität, Inst.f.Physik, D-55099 Mainz — 2IBM Speichersysteme Deutschland GmbH, D-55131 Mainz — 3BESSY GmbH, D-12489 Berlin
Mittels XANES können Aussagen über eine vorhandene oxidische Bindungsumgebung vergrabenen Schichten und damit eine Aussage über den Korrosionsschutz der Deckschicht getroffen werden.[1] Anwendung findet diese Methode in der Entwicklung von ultradünnen Hartstoffschutzschichten für Festspeicherplatten. Die Korrosionsschutzeigenschaften von Kohlenstoffschichten mit Dicken < 2nm konnten anhand von mikro-XANES an der Kobalt L2/3-Kante untersucht werden. Bei den untersuchten Schichtmaterialien handelte es sich sowohl um ta-C- als auch um a-C:N-Schichten. Die Messungen erfolgten mit einem X-PEEM bei BESSY II (Berlin). Vergleichend dazu wurden Labor-XPS-Messungen durchgeführt. Weiterhin konnten unter Verwendung des "Nano-ESCA" XANES- und XPS-Spektren an derselben Probenstelle bei hoher Ortsauflösung gemessen werden. Neben dem Auftreten von oxidischen Bindungsumgebungen wurde aus den XANES-Spektren auch die mittlere freie Weglänge für langsame Sekundärelektronen (E ∼ 2 eV) in den beiden untersuchten Schichten bestimmt.
Gefördert durch BMBF, Fkz 13N7759 und BMBF, Fkz 13N7863 [1] Ziethen et al., Diamond Rel. Mat., 11, 2002 (1068)