Dresden 2003 – wissenschaftliches Programm
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DS: Dünne Schichten
DS 24: Poster
DS 24.51: Poster
Dienstag, 25. März 2003, 14:30–17:00, P2a
In-situ Ellipsometrie: Untersuchungen gaschrom schaltbaren Wolframoxids — •François Vertommen, Christian Salinga, Pascal Meyers, Theofilos Eleftheriadis, Oliver Kappertz und Matthias Wuttig — I. Physikalisches Institut (IA), Lehrstuhl für Physik neuer Materialien, RWTH Aachen
Wolframoxid (WOx) ist unter Luft bzw. sauerstoffhaltiger Atmosphäre
transparent. Unter wasserstoffhaltiger Atmosphäre färbt sich die
Schicht im sichtbaren Bereich blau, da durch
Wasserstoffeinbau eine Absorption im Infraroten (Polaronabsorption)
generiert wird. Diese Schichteigenschaft kann in intelligenten Fenstern
(sog. smart windows) zur Energieersparnis genutzt werden.
Das Spektral-Ellipsometer M2000UI der Firma Woollam wurde um eine Gaszelle
erweitert, die in-situ Ellipsometriemessung an gaschrom schaltbaren
Schichtsystemen ermöglicht. Diese Gaszelle, bei der die zu untersuchende
Glasprobe selbst die obere Begrenzung des Gasvolumens ist, kann über
einen Gasmischstand mit diversen Gasgemischen und einem Gesamtdruck von bis
zu 5 bar gefüllt werden. Gleichzeitig zur Ellipsometriemessung
(Psi/Delta) kann auch die Transmission (T) des Schichtsystems beobachtet
werden. Die Resultate (Psi/Delta/T) des gaschromen Ein- und Entfärbens
unter H2- bzw. O2-haltiger Atmosphäre von WOx -Schichten
werden präsentiert. Platin als Katalysator schließt das einfache
Schichtsystem (Glas/WOx/Pt) ab. Aus einer anschließenden
Simulation können die dielektrische Funktion mit der Stärke des
harmonischen Oszillators sowie die Dicke der Schichten ermittelt werden.