Dresden 2003 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 8: Harte Schichten II

DS 8.8: Vortrag

Montag, 24. März 2003, 17:00–17:15, GER/38

Methodische Fortschritte bei der Bestimmung des Elastizitätstensors dünner Hartstoffschichten: Brillouin-Spektroskopie an gestuftem Wolframkarbid — •T. Wittkowski¹, G. Distler¹, K. Jung¹, J.D. Comins² und B. Hillebrands¹ — ¹Fachbereich Physik und Schwerpunkt Materialwissenschaften, Technische Universität Kaiserslautern, Erwin-Schrödinger-Str. 56, 67663 Kaiserslautern, Germany — ²School of Physics, University of the Witwatersrand, Johannesburg, Wits 2050, South Africa

Die Brillouin-Lichtstreuspektroskopie ist eine ausgezeichnete Methode zur vollständigen Charakterisierung der elastischen Eigenschaften dünner Schichten. Dabei wird Licht inelastisch an akustischen Phononen gestreut. Aus der Dispersion der Oberflächenwellen lassen sich durch Vergleich mit Simulationsrechnungen die wesentlichen Komponenten des Elastizitätstensors sowie die Massendichte ermitteln. Üblicherweise wird der Verlauf der Dispersionkurve dadurch gewonnen, dass an unterschiedlich dicken Proben durch Variation des Streuwinkels der Wellenvektor verändert wird. Erst durch die Herstellung von Stufenschichten werden bisher mögliche Fehlerquellen konsequent ausgeschlossen und die zur Interpretation benötigte Datenbasis wird deutlich vergrößert. Am Beispiel von gesputterten Wolframkarbidschichten wird die Abhängigkeit des elastischen Verhaltens von der Energie der plattierenden Ionen untersucht.