Dresden 2003 – wissenschaftliches Programm
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HL: Halbleiterphysik
HL 14: Poster I
HL 14.95: Poster
Montag, 24. März 2003, 17:00–19:30, HSZ/P2
Optische Bestimmung von lokalen Schwankungen der Ladungsträgerdichte in multikristallinen Siliziumsolarzellen — •Viktor Schlosser1, Milena Dineva1, Wilhelm Markowitsch1, Gerhard Klinger1, Peter Bajons1, Rita Ebner2 und Johann Summhammer2 — 1Universität Wien — 2Atominstitut der Österreichischen Universitäten, Wien
Bei der Herstellung von Solarzellen aus multikristallinem Silizium ist die Kenntnis der lokalen Verteilung freier Ladungsträger sowohl während der Produktion als auch nach Fertigstellung von großem Interesse. In dieser Arbeit wurde die Ladungsträgerverteilung an der Oberfläche der multikristallinen Scheiben und Zellen aus Messungen der Plasmareflexion ermittelt. Dazu wurde einerseits ein konventionelles Infrarotspektrometer im Bereich der Wellenzahl von 400cm−1 und 4500cm−1 verwendet. Andererseits wurden Versuche unternommen eine kommerzielle Thermokamera (der Spektralbereich der verwendeten Detektormatrix lag zwischen 770cm−1 und 1330cm−1) zur Bestimmung der lokalen Plasmareflexion einzusetzen. Ergänzende Messungen wurden im Mikrowellenbereich durchgeführt. Es wurden am Ausgangsmaterial - 100cm2 Scheiben aus bordotiertem multikristallinem Silizium - sowohl die dotierungsbedingte Grundkonzentration als auch die lokalen Variationen der Ladungsträgerdichte durch Lichtanregung untersucht. Nach dem Erzeugen des planaren pn-Übergangs wurde dieser mit den gleichen experimentellen Methoden charakterisiert und mit den Ergebnissen elektrischer 4 Punktmessungen verglichen. Die Ergebnisse der verwendeten Verfahren werden vergleichend dargestellt und diskutiert.