Dresden 2003 – wissenschaftliches Programm

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O: Oberflächenphysik

O 22: Epitaxie und Wachstum I

O 22.1: Vortrag

Dienstag, 25. März 2003, 15:00–15:15, FOE/ORG

Morphologieabhängigkeit der Zerstäubungsausbeute beim streifenden Ionenbeschuss auf Pt(111) — •Henri Hansen¹, Celia Polop¹, Andreas Friedrich², Herbert Urbassek² und Thomas Michely¹ — ¹I. Physikalisches Institut, RWTH Aachen, 52056 Aachen — ²Fachbereich Physik, Universiät Kaiserslautern, 67663

Die Zerstäubungsausbeute beim Beschuss der Pt(111) Oberfläche mit 5 keV Ar⁺ Ionen unter einem Winkel von 83^∘ gegen die Oberflächennormale zeigt eine starke Fluenzabhängigkeit. Die Projektion des Ionenstrahls auf die Oberfläche ist in [112] Richtung orientiert, so dass der Strahl senkrecht auf {111} microfacettierte Stufen trifft. Die Fluenzabhängigkeit lässt sich in einem Modell verstehen, das verschiedene Zerstäubungsausbeuten für Terrassen und Stufenkanten annimmt. Mit Hilfe des Modells kann der Wert der Zerstäubungsausbeute für den Ionenbeschuss auf einzelne Stufenkanten extrapoliert werden. Diese experimentellen Ergebnisse werden mit molekulardynamischen Rechnungen für die Zerstäubungsausbeute von Pt(111) bei streifendem Ionenbeschuss verglichen. Weiterhin werden Einzeleinschuss Schadensbilder von Ionen an Stufenkanten mit den Ergebnissen der Simulationen verglichen.