Dresden 2003 – wissenschaftliches Programm
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O: Oberflächenphysik
O 30: Methodisches (Experiment und Theorie)
O 30.7: Vortrag
Donnerstag, 27. März 2003, 12:45–13:00, M\"UL/ELCH
Hochauflösende Transmissions-Photoelektronen-Mikroskopie im weichen Röntgenbereich — •Martin Pohl, Ulf Kleineberg und Ulrich Heinzmann — Universität Bielefeld, Molekül- und Oberflächenphysik, Universitätsstraße 25, 33615 Bielefeld
An der Multilayer-Monochromator-Beamline U125/1-ML bei BESSY II wurden erste Experimente mit einem Photoelektronen-Emissionsmikroskop (PEEM) in Transmissionsanordnung durchgeführt.
Im Unterschied zur konventionellen Photoelektronenmikroskopie wird hierbei eine nanotomographische Projektion (Schattenwurf) der auf der Vorderseite einer dünnen Membran immobilisierten Probe auf der Rückseite der Membran erzeugt und die hier ausgelöste Photo- und Sekundärelektronenverteilung im PEEM hochaufgelöst abgebildet. Das Verfahren bietet das Potential für hochaufgelöste Mikroskopie mit einer Proximity-Auflösung von weniger als 50 nm. Als Testproben wurden Diatomeen (Kieselalgen) auf einer 180 nm dünnen Si-Membran präpariert und in Transmissionsanordnung im PEEM abgebildet. Der Einfluss einer CsI-Schicht als Photokathode auf der Si-Membranrückseite wurde bezüglich des Photoelektronenyields und damit der Bildhelligkeit im PEEM untersucht. Erste Aufnahmen mit dem Transmissions-PEEM zeigen Feinstrukturen der Algen mit einer lateralen Auflösung von besser als 70 nm sowie XANES spektromikroskopische Informationen an Röntgenabsorptionskanten. Bei Photonenenergien unterhalb der Si-L-Kante (99 eV) sowie bei 453 eV unterhalb der O-K-Kante (500 eV) konnten Si- und SiOx-Anteile der Probe spektromikroskopisch dargestellt werden und lokale Oxidationen auf der Siliziummembran identifiziert werden.