Berlin 2005 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 24: Postersitzung II

DS 24.24: Poster

Dienstag, 8. März 2005, 17:00–19:00, Poster TU B

Abscheidung von ZnO mittels Pulsed Laser Deposition auf Saphir — •Martin Beck — Martin Beck Talstrasse 18 07743 Jena

Die Abscheidung von Zinkoxid mittels Pulsed Laser Deposition von Zink-Target und ZnO-Target auf Saphir (1-102) und Saphir (0001) wird untersucht. Die Abscheideparameter Substrattemperatur und Sauerstoffdruck werden variiert. Die Schichten werden mit Röntgendiffraktometrie, RBS sowie optischer Transmissionsmessung untersucht. Anhand des Cmin -Werts des RBS-Zinksignals und Leitfähigkeitsmessungen soll die Rolle von Zn-Interstitials für die n-Leitung von ZnO abgeschätzt werden.