Berlin 2005 – wissenschaftliches Programm
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HL: Halbleiterphysik
HL 17: Poster Ib
HL 17.38: Poster
Freitag, 4. März 2005, 16:30–19:00, Poster TU F
Konzentrische a-Si/SiOx Bragg-Reflektoren — •Rüdiger Schmidt-Grund1, Tobias Gühne2, Bernd Rheinländer1, Volker Gottschalch2, Helmut Herrnberger2, Thomas Nobis1 und Marius Grundmann1 — 1Universität Leipzig, Fakultät für Physik und Geowissenschaften, Institut für Experimentelle Physik II, Linnéstr. 5, 04103 Leipzig — 2Universität Leipzig, Fakultät für Chemie und Mineralogie, Linnéstr. 3, 04103 Leipzig
Laterales Bragg-Confinement von Mikroresonator-Lichtemittern erhöht das Verhältnis der Zahl der axial resonanten Moden zur Zahl der spontan emittierten lateralen Moden. Hoch reflektierende Si/SiOx-Bragg-Reflektoren eignen sich gut zur Verbesserung des optischen Confinements in mikro-strukturierten Resonatoren. Auf Mikro-Glasstäbe mit Durchmessern von 5 bis 5000 µm wurden sowohl a-Si- und SiOx-Einzelschichten als auch a-Si/SiOx-Bragg-Reflektoren für den Wellenlängenbereich von 500 nm bis 1000 nm mit kleiner Paarzahl N (typisch N = 4,5) mittels PECVD (plasma-enhanced chemical vapor deposition) konzentrisch abgeschieden. Die Schichtdicken und das Reflexionsvermögen wurden mittels räumlich aufgelöster spektroskopischer Ellipsometrie und Mikro-Reflexion untersucht. Das aus der ellipsometrischen Analyse berechnete Reflexionsvermögen wurde mit demjenigen verglichen, welches mittels Mikro-Reflexion bestimmt wurde. Es wurde ein Zusammenhang zwischen Mikro-Glasstab-Durchmesser und Abscheiderate der Materialien gefunden. Für die Bragg-Reflektoren auf Mikro-Glasstäben wurden maximale Reflexionsvermögen über 96% erreicht. Für alle azimutalen Richtungen wurde eine Bragg-Bande im gleichen Wellenlängenbereich erzielt.