Augsburg 2006 – wissenschaftliches Programm
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P: Plasmaphysik
P 15: Diagnostik 2; Niedertemperaturplasmen / Plasmatechnologie 5; Plasma-Wand Wechselwirkung 1
P 15.35: Poster
Dienstag, 28. März 2006, 17:00–19:00, Flure
Hochfrequenzabsorption und Elektronenheizung an einer Hochfrequenzelektrode in einem Helikontargetplasma — •Bernd Clarenbach und Michael Krämer — Experimentalphysik II, Ruhr-Universität Bochum
Untersucht wird die Leistungsabsorption und Elektronenheizung an einer HF-Elektrode (Pmax ≈ 500 W, Durchmesser = 150 mm), die sich im Zentrum einer großvolumigen Diffusionskammer mit magnetischem Multipolfeldeinschluss befindet. In die Kammer diffundiert das gepulste Argonplasma (τpulse = 3−8 ms, fpulse = 25/50 Hz, PRF < 2 kW, fRF = 13.56 MHz, ne ≈ 1018 m−3, Te ≈ 2 eV) einer Helikonentladung. Für die Messung der zeitlichen und räumlichen Elektronendichte und -temperatur bzw. Elektronenenergieverteilungsfunktion (EEVF) wird ein 1mm-Interferometer und eine passiv kompensierte Langmuirsonde eingesetzt. Spektroskopische Messungen der Argonlinienstrahlung in Kombination mit einem Stoß-Strahlungsmodel erlauben den Nachweis schneller Änderungen der EEVF. Über einen weiten Bereich der HF-Leistung und der Gasdichte wird untersucht, inwieweit die Elektronenheizung stochastisch ist. Darüber soll insbesondere auch der zeitliche Verlauf von Strom und Spannung an der HF-Elektrode, der mit einem HF-Messkopf gemessen wird, Aufschluss geben.
Gefördert von der DFG (SFB 591, Projekt A7)