Regensburg 2007 – wissenschaftliches Programm

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DF: Fachverband Dielektrische Festkörper

DF 11: Poster Session

DF 11.11: Poster

Donnerstag, 29. März 2007, 14:30–18:00, Poster C

Grenzflächeneigenschaften von PZT auf LSMO- und Pt-terminierten Substraten — •Salah Habouti¹, Claus-Henning Solterbeck¹, Mohammed Es-Souni¹, Vladimir Zaporojtchenko² und Franz Faupel² — ¹Institut für Werkstoff- und Oberflächentechnologie, Fachhochschule Kiel — ²Lehrstuhl für Materialverbunde, Christian-Albrechts-Universtät zu Kiel

Dünne Schichten aus Pb(Zr_0.52Ti_0.48)O₃(PZT), die mit dem Sol-Gel-Verfahren hergestellt wurden, zeigen in ihren Eigenschaften deutliche Hinweise auf Einflüsse von der Grenzfläche zum Substrat. Wir untersuchen die Grenzfläche zu La_0.8Sr_0.2MnO₃ (LSMO) im Vergleich zu Platin. XPS-Tiefenprofile zeigen Veränderungen in der Stöchiometrie durch Diffusion sowie auch die Entstehung von Grenzflächenschichten, die beide deutlich von den Präparationsbedingungen abhängen. Die Diffusion von La und Mn in die PZT-Schicht hinein verbessert deren elektrische Eigenschaften und führt zu einer geringeren Dickenabhängigkeit der elektrischen Eigenschaften.