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HL: Fachverband Halbleiterphysik

HL 49: ZnO: Optical properties

HL 49.5: Talk

Thursday, February 28, 2008, 11:45–12:00, ER 164

DBR und RC-LED Strukturen im ZnSe-basierten Materialsystem — •Kai Otte, Carsten Kruse, Jens Dennemarck, Arne Gust und Detlef Hommel — Institut für Festkörperphysik, Universität Bremen, Otto-Hahn-Allee 1, 28359 Bremen

Hochreflektive Bragg-Spiegel (DBRs) sind ein Schlüsselbaustein für Bauelemente wie oberflächenemittierende Laserdioden mit Vertikalresonator (VCSEL) und resonanter Kavitäts-LEDs (RC-LED). Auf Basis eines, in seinen optischen und elektrischen Eigenschaften optimierten, DBRs wurde erstmals eine RC-LED mit Quantenpunkten als aktivem Gebiet für den grünen Spektralbereich realisiert. Dies ist ein wichtiger Schritt in Richtung elektrisch betriebener VCSEL.

Die Bragg-Spiegel, bestehend aus einer ZnSSe Schicht als Hochindexmaterial und einem MgS/ZnSe Übergitter(SL) als Niedrigindexmaterial wurden mittels Molekularstrahlepitaxie auf GaAs Substraten abgeschieden. Mit diesen Bragg-Spiegeln können Reflektivitäten von über 99% erreicht werden. Das ZnSe Materialsystem ermöglicht das Wachstum von DBRs im Wellenlängenbereich von 470 nm bis über 600 nm.

Durch Optimierung des Schichtdickenverhältnisses im MgS/ZnSe SL kann die Leitfähigkeit von n-dotierten DBRs signifikant verbessert werden. Die besten Werte lagen bei 90 A/cm² bei 3 V für einen 12fach DBR.