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K: Fachverband Kurzzeitphysik

K 10: Laseranwendungen und Lasermaterialbearbeitung

K 10.3: Talk

Thursday, April 2, 2009, 14:15–14:30, HS Physik

Präzise Laserstrukturierung zur Erzeugung von Bauteilen mit funktionalen Oberflächen — •Claudia Hartmann, Andreas Dohrn und Arnold Gillner — Fraunhofer-Institut für Lasertechnik, Aachen, Deutschland

Für die Produktion von Bauteilen mit funktionalen Oberflächen ist die präzise Laserstrukturierung ein wichtiges Werkzeug. Um eine präzise und schmelzarme Strukturierung zu erreichen, wurde ein ps-Laser mit einer Pulsdauer von 10 ps eingesetzt. Durch den Einsatz von ps-Pulsburst anstelle von Einzelpulsen kann die Abtragsrate bis zu 90 % gesteigert werden bei gleichzeitigem präzisem Abtrag mit Oberflächenrauigkeiten bis zu Ra = 0,5 um. Dadurch wird es möglich schnell und präzise tiefe Mikrostrukturen oder mit anderen Verfahren nur schwer zu erzeugenden Strukturen wie kleine Näpfchenstrukturen in Replikationswerkzeugen herzustellen.