Greifswald 2009 – scientific programme

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 1: Hauptvorträge Nettelmann, Schulz

P 1.2: Invited Talk

Monday, March 30, 2009, 12:10–12:40, HS Biochemie (groß)

Physik der Niederdruck-Mikrowellenentladungen für plasmatechnologische Anwendungen — •Andreas Schulz, Evelyn Häberle, Jochen Kopecki, Martina Leins, Joachim Schneider, Matthias Walker und Ulrich Stroth — Institut für Plasmaforschung der Universität Stuttgart

Viele der innovativen technologischen Entwicklungen der letzten Jahre wurden erst durch neue Materialien, Materialkombinationen und vor allem durch angepasste oder veränderte Oberflächen ermöglicht. Bei den Oberflächentechnologien nimmt die Plasmatechnologie mittlerweile eine führende Rolle ein und erweist sich in vielen Bereichen als Triebkraft für Innovation. Eine äußert attraktive Methode Plasmen zu generieren, bieten Entladungen, die mit Mikrowellen betrieben werden. Im Niederdruck stellen sie ein extremes thermodynamisches Nichtgleichgewicht mit heißen Elektronen sowie kalten Ionen und Neutrale bereit. Die energiearmen Schwerteilchen verhindern die thermische Belastung von sensitiven Materialien; die energiereichen Elektronen bieten aber eine effektive Plasmachemie, die durch die hohen Elektronendichten noch potenziert wird. Der Vortrag gibt einen Überblick über die vielfältigen Methoden mit Mikrowellen Plasmen zu generieren. Diese reichen von ECR-Plasmen über lineare Niederdruck-Mikrowellenentladungen bis zu atmosphärischen Plasmafackeln. Die Plasmen werden mit spektroskopischen Methoden und Sondendiagnostik untersucht und mit Simulationen Verglichen. Die physikalischen Eigenschaften dieser Plasmen werden diskutiert und Beispiele für Anwendungen vorgestellt.