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P: Fachverband Plasmaphysik

P 14: Plasma-Wand-Wechselwirkung

P 14.4: Talk

Wednesday, April 1, 2009, 16:45–17:00, INP-Staffelgeschoß

Charakterisierung eines ECR-Plasmas mit DC- und HF-Bias zur Untersuchung von PWW-Prozessen — •Armin Manhard und Thomas Schwarz-Selinger — Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, EURATOM Assoziation, Boltzmannstr. 2, 85748 Garching

Wichtige Kenngrößen für Materialien für die erste Wand in Fusionsexperimenten sind ihre Erosion durch das Plasma und ihre Fähigkeit implantierten Wasserstoff zurückzuhalten. Im Niedertemperatur-Plasmaexperiment PlaQ werden hierzu grundlegende Experimente durchgeführt. Dafür werden aus einem ECR-Plasma mittels DC- oder HF-Bias von bis zu 600 V Ionen auf Materialproben beschleunigt. Das Plasma ist dabei räumlich von der Probe getrennt. Für quantitative Untersuchungen ist eine genaue Kenntnis des Teilchenspektrums, denen die Proben ausgesetzt sind, notwendig. Der Ionenfluss auf die Probe und dessen Energieverteilung wird mit einem elektrostatischen Gegenfeldanalysator gemessen. Mit einem Plasmamonitor werden Fluss und Speziesverteilung von Ionen und Neutralteilchen gemessen. Zudem wird optische Emissionsspektroskopie zur Charakterisierung des ECR-Plasmas eingesetzt. Ferner werden spektroskopische Messungen direkt oberhalb der Probe mit den durch die Teilchendetektoren gemessenen Flüssen in Verbindung gesetzt. Teilchenflüsse sowie Spezies- und Energieverteilungen werden als Funktion der Mikrowellenleistung des ECR-Plasmas und der Beschleunigungsspannung an der Probe gezeigt.