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P: Fachverband Plasmaphysik

P 3: Diagnostik

P 3.12: Talk

Monday, March 30, 2009, 17:15–17:30, INP-Staffelgeschoß

Eine kontinuierlich arbeitende Sonde zur Messung des Energieeinstromes bei plasmatechnologischen Prozessen — •Ruben Wiese¹, Holger Kersten², Marco Häckel³ und Klaus-Dieter Weltmann¹ — ¹Institut für Plasmaforschung und Technologie, Felix-Hausdorff-Str. 2, D-17489 Greifswald — ²Christian-Albrechts-Universität Kiel, Leibnitzstr. 29, D-24098 Kiel — ³Neoplas GmbH, Felix-Hausdorff-Str. 2, D-17489 Greifswald

Fast alle plasmatechnologischen Anwendungen basieren auf der Plasma-Wand-Wechselwirkung, die u.a. mit kalorimetrischen Thermosonden zur Messung des Energieeintrages aus dem Plasma charakterisiert werden kann. Bekannt sind passive Sonden, die auf dem Prinzip basieren, den Temperaturverlauf beim Aufheiz- und Abkühlvorgang aufzunehmen und daraus den Energieeintrag zu berechnen, oder aktive, bei denen der Energieeintrag durch Messung eines Temperaturgefälles bestimmt wird.

Eine nach einem anderen Prinzip kontinuierlich arbeitende aktive Sonde wird vorgestellt, bei der keine Kalibrierung notwendig ist und die Umgebungseinflüsse sowie die Wärmeableitung durch die Halterung der Sonde kompensiert. Die bei Beschichtung sich ändernde Wärmekapazität der Sonde ist ebenfalls ohne Einfluss auf den Messwert. Die Sonde wird mittels einer geregelten elektrischen Heizung auf eine vorgegebene Arbeitstemperatur gebracht und die zur Aufrechterhaltung der Arbeitstemperatur zugeführte Heizleistung gemessen. Der Energieeintrag durch externe Wärmequellen wird durch Herabsetzung der Heizleistung kompensiert und direkt in J/qcms angezeigt.