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P: Fachverband Plasmaphysik
P 9: Poster: Niedertemperaturplasmen
P 9.18: Poster
Tuesday, March 31, 2009, 17:30–19:30, Foyer des IfP
Anwendung hoch-zeitauflösender QCLAS zur Untersuchung des gepulsten CF4/H2 RF Plasmas — •Sergey Stepanov1, Stefan Welzel2, Jürgen Röpcke2 und Jürgen Meichsner1 — 1Universität Greifswald, Institut für Physik, Felix-Hausdorff-Str. 6, 17487 Greifswald — 2Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie e.V., Felix-Hausdorff-Str. 2, 17489 Greifswald
Zur Bestimmung absoluter Dichten von CF4- und C3F8-Molekülen in gepulsten kapazitiv gekoppelten CF4/H2 RF-Plasmen (13,56 MHz) wurde die hochauflösende Infrarot Quantum Cascade Laser Absorption Spectroscopy (IR-QCLAS) eingesetzt. Hierzu wurden ein komplexes Absorptionsspektrum im Wellenzahlbereich von 1269 bis 1275 cm−1 ausgewählt und effektive Absorptionsquerschnitte σeff für CF4 und C3F8 definiert sowie deren Absolutwerte aus Absorptionsmessungen an den einzelnen Gasen bestimmt. Diese Absorptionsquerschnitte wiesen eine deutliche Abhängigkeit von der Gastemperatur T auf und wurden zusätzlich mittels einer heizbaren Referenzgaszelle für T ≤ 400 K untersucht. Da sich die Absorptionsspektren beider Moleküle im betrachteten Spektralbereich stark überlagern, musste die totale Absorption beider Gase an zwei verschiedenen spektralen Positionen unter identischen Plasmabedingungen gemessen werden. Anschließend konnten die einzelnen Beiträge von CF4 und C3F8 unter Berücksichtigung ihrer Temperaturabhängigkeit σeff(T) entfaltet werden. Für die ausgewählten Versuchsbedingungen wurde eine Gastemperatur von 390 K im Plasma ermittelt. Diese Arbeit wird gefördert durch die DFG unter SFB-Transregio 24, Projekte B5 und B2.