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P: Fachverband Plasmaphysik
P 9: Poster: Niedertemperaturplasmen
P 9.6: Poster
Tuesday, March 31, 2009, 17:30–19:30, Foyer des IfP
RF-Plasmen einer großflächigen Spiralantenne in VINETA — •Thomas Windisch1, Kian Rahbarnia1,2, Olaf Grulke1,2 und Thomas Klinger1,2 — 1MPI für Plasmaphysik, EURATOM Assoziation, 17491 Greifswald, Germany — 2Ernst-Moritz-Arndt Universität, Greifswald, Germany
Spiralantennen sind weit verbreitet zur Erzeugung induktiv gekoppelter Entladungen im Bereich plasmatechnologischer Anwendungen sowie zur Untersuchung grundlegender physikalischer Prozesse in Plasmen, z.B. Wellenausbreitung. Diese Arbeit präsentiert detaillierte Studien der Plasmaparameter einer am linearen Plasmaexperiment VINETA eingesetzten großflächigen Spiralantenne. Die radiale Profilbreite der induktiv gekoppelten Plasmen ist um einen Faktor drei höher verglichen mit der üblicherweise verwendeten Helikonantenne. Bei einer Eingangsleistung von P=0.5 kW werden typischerweise Dichten von 1e17 m−3 erreicht. Bei höheren Leistungen (P≥ 1.5 kW) tritt ein Modensprung auf, der durch einen Anstieg der Dichte um einen Faktor fünf gekennzeichnet ist. Ursache dafür ist eine m=0 Helikonwelle, die durch Messung der Bz-Komponente des Wellenfeldes nachgewiesen werden konnte. Während die Elektronentemperaturen in diesem Entladungsmodus im Bereich von 3 eV liegen, wird bei niedrigen Leistungen (Dichten) die Energieverteilungsfunktion durch nichtthermische Elektronen mit Energien bis zu 15 eV dominiert.