Kiel 2011 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 7: Poster: Modellierung und Simulation von Niederdruckplasmen

P 7.5: Poster

Dienstag, 29. März 2011, 17:00–19:00, Foyer

Numerische Simulationen zum Einfluss der Reaktorgeometrie auf Ionenenergie und Ionenbombardment in kapazitiv gekoppelten Plasmen — •Jan Trieschmann¹, Dennis Ziegler¹, Ralf Peter Brinkmann¹, Dirk Hegemann² und Thomas Mussenbrock¹ — ¹Lehrstuhl für Theoretische Elektrotechnik, Ruhr-Universität Bochum, Deutschland — ²Empa, Eidgenössische Materialprüfungs- und Forschungsanstalt, St. Gallen, Schweiz

Für die Skalierung von Industrieprozessen bei der Plasma-Polymerisation ist der Energieeintrag in das Plasma von signifikanter Bedeutung. [1] Unter Berücksichtigung geometrischer Faktoren erlaubt der globale Parameter "Leistung pro Gasfluss" eine gute Skalierung. Bei der Erzeugung funktionaler Schichten hingegen ist die Beschaffenheit maßgeblich durch das Ionenbombardment und die Wachstumsrate bestimmt. In dieser Arbeit soll der Einfluss der Reaktorgeometrie auf die räumlich aufgelöste Ionendichte und die Variation des Ionenbombardments in verschiedenen Plasmazonen untersucht werden. Es werden Ergebnisse numerischer Simulationen basierend auf der Lösung von Fluidgleichungen vorgestellt und diskutiert. Zur vereinfachten Betrachtung wird eine reine Argonentladung betrachtet. Dies erlaubt in guter Näherung eine Analyse der energetischen Bedingungen im Plasma. Die Untersuchungen sollen zum detaillierten Verständnis bei der Skalierung von Plasmaprozessen beitragen.

Diese Arbeit wird im Rahmen des SFB-TR 87 durch die Deutsche Forschungsgemeinschaft gefördert.

[1] D. Hegemann and U. Schütz, Thin Solid Films 491, 96 (2005).