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SYPD: Symposium Plasmadeposition von optischen und mechanischen Funktionsschichten

SYPD 2: Plasma und optische Funktionsschichten II

Dienstag, 29. März 2011, 13:30–16:00, HS G

13:30 SYPD 2.1 Hauptvortrag: Die Multipole-Resonanz-Sonde: Charakterisierung eines Prototyps — •Ralf Peter Brinkmann und und das MRP Team
14:00 SYPD 2.2 Hauptvortrag: Charakterisierung der ionenunterstützten Abscheidung von TiO2-Filmen in einer APS-Plasmaquelle — •Peter Awakowicz, Nikita Bibinov, Tim Styrnoll, Carsten Schmitz und Detlev Ristau
14:30 SYPD 2.3 Hauptvortrag: Plasmasonden in IBS-Prozessen — •Carsten Schmitz
15:00 SYPD 2.4 Hauptvortrag: Struktur-Eigenschaftsbeziehung bei PIAD-Schichten — •Olaf Stenzel
15:30 SYPD 2.5 Hauptvortrag: Struktur und elektronische Eigenschaften amorpher TiOx und Al2O3 Schichten, sowie des amorphen TiO2-SiO2-Interfaces — •Thomas Köhler, Grygoriy Dolgonos, Michael Bogucki und Thomas Frauenheim
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