Jena 2013 –
wissenschaftliches Programm
P 7: Niedertemperaturplasmen I
Dienstag, 26. Februar 2013, 16:30–18:40, HS 3
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16:30 |
P 7.1 |
Hauptvortrag:
Pulsaufgelöste schnelle Messungen der Wachstumsrate in HIPIMS-Plasmen — Felix Mitschker, Marina Prenzel, Jan Benedikt, •Christian Maszl und Achim von Keudell
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17:00 |
P 7.2 |
Electron heating mechanisms in electrically asymmetric capacitive hydrogen/silane discharges - A parameter study — •Sebastian Mohr, Edmund Schüngel, Julian Schulze, and Uwe Czarnetzki
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17:15 |
P 7.3 |
Einfluss der O2-Konzentration auf den Durchbruch von dielektrisch behinderten Entladungen im gepulsten Betrieb — •Hans Höft, Manfred Kettlitz, Tomas Hoder, Ronny Brandenburg und Klaus-Dieter Weltmann
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17:30 |
P 7.4 |
The effect of powder formation on the electron dynamics and discharge symmetry in single and dual frequency hydrogen/silane plasmas — •Edmund Schüngel, Sebastian Mohr, Shinya Iwashita, Julian Schulze, and Uwe Czarnetzki
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17:45 |
P 7.5 |
Optische Charakterisierung einer kombinierten Elektronenstrahl- und Mikrowellenentladung — •Thomas Dandl, Maximilian Grabner, Andreas Himpsl, Jochen Wieser und Andreas Ulrich
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18:00 |
P 7.6 |
The effect of structured electrodes on the electron heating in capacitively coupled radio frequency plasmas — •Nico Schmidt, Julian Schulze, Edmund Schüngel, Jan Trieschmann, Thomas Mussenbrock, and Uwe Czarnetzki
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18:15 |
P 7.7 |
Fachvortrag:
Mode transitions in low pressure discharges. — •Christian Küllig, Kristian Dittmann, Thomas Wegner, and Jürgen Meichsner
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