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P: Fachverband Plasmaphysik

P 7: Niedertemperaturplasmen I

P 7.5: Talk

Tuesday, February 26, 2013, 17:45–18:00, HS 3

Optische Charakterisierung einer kombinierten Elektronenstrahl- und Mikrowellenentladung — •Thomas Dandl¹, Maximilian Grabner¹, Andreas Himpsl¹, Jochen Wieser² und Andreas Ulrich¹ — ¹Physik Department E12, Technische Universität München, James-Franck-Str. 1, 85748 Garching — ²Optimare Analytik GmbH & Co KG, Emsstr. 20, 26382 Wilhelmshaven

Ein Elektronenstrahl mit einer Teilchenenergie von 12 keV wird durch eine sehr dünne Siliziumnitridmembran in ein Edelgastarget eingeschossen. Dabei werden die Elektronen bei Atmosphärendruck in einem Volumen von etwa 1 Kubikmillimeter gestoppt. Dies führt zu einer Anregung und Ionisierung der Targetgasatome. Durch die Vorionisierung kann auch bei hohen Drücken zusätzlich Leistung durch eine Mikrowellenanregung (2,45 GHz) in das Gas eingekoppelt werden. Dies reicht von einer kombinierten Anregung bis hin zur Zündung einer selbstständig brennenden Mikrowellenentladung. Es werden optische Emissionsspektren in einem weiten Wellenlängenbereich von etwa 100-1000 nm aufgenommen. In dem Vortrag werden die hier verwendete Technik sowie die unterschiedlichen spektralen Charakteristiken der Entladung bei den verschiedenen Anregungsmethoden beschrieben. Erste Messungen zur räumlichen Verteilung sowie zum zeitlichen Verhalten der Entladung im Pulsbetrieb werden dargestellt.

Gefördert durch BMBF Förderkennzeichen 13N9528 und 13N11376.