Regensburg 2013 – wissenschaftliches Programm
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HL: Fachverband Halbleiterphysik
HL 69: Poster Session: II-VI semiconductors; Organic semiconductors; Heterostructures
HL 69.4: Poster
Mittwoch, 13. März 2013, 16:00–20:00, Poster A
Struktierte Ag-Diffusionsprofile in CdTe durch Cu-Filme — •Johannes Lehnert, Herbert Wolf, Manfred Deicher und Thomas Wichert — Experimentalphysik, Universität des Saarlandes, 66123 Saarbrücken
Das Diffusionsverhalten von Ag in CdTe lässt sich durch das Aufdampfen von Metallfilmen vor der Diffusion stark verändern. Dieser Effekt wurde für Cu, Au, Ni und Al gezeigt. Für die verschiedenen Metalle ergeben sich große quantitative Unterschiede, der stärkste Effekt wird von einem Cu-Film verursacht. Radiotracer-Messungen haben gezeigt, dass sich auf diese Weise das Ag-Diffusionsprofil bei einer Diffusionstemperatur von 500 K und einer Diffusionszeit von 30 min um mehrere 100 µm in das Kristallinnere verlagern lässt [1]. Wird ein CdTe-Kristall lateral homogen mit radioaktivem 111Ag implantiert und anschließend die implantierte Seite mit einem strukturierten Cu-Film bedampft, so lässt sich auf diese Weise ein lateral strukturiertes Tiefenprofil von Ag in CdTe erzeugen. Die laterale Verteilung wurde mit Autoradiographie bestimmt. In Kombination mit der tiefenauflösenden Radiotracer-Technik lässt sich die dreidimensionale Verteilung der radioaktiven 111Ag-Atome rekonstruieren. In diesem Beitrag werden Beispiele für lateral strukturierte Ag-Profile in CdTe vorgestellt. Mit dieser Vorgehensweise konnte z.B. eine Ag-Verteilung im CdTe-Kristall erzeugt werden, die der Form eines Zylinderhutes entspricht.
Gefördert durch das BMBF, Projekt 05K10TS2.
[1] H. Wolf et al., Appl. Phys. Lett. 100 (2012) 171915