Berlin 2014 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 14: Poster Session - Theory and Modelling

P 14.3: Poster

Dienstag, 18. März 2014, 16:30–18:30, SPA Foyer

Reaktionskinetik von HMDSO im Atmosphärendruckplasmajet in Argon — •Detlef Loffhagen, Markus M. Becker, Rüdiger Foest und Florian Sigeneger — INP Greifswald, Felix-Hausdorff-Str. 2, 17489 Greifswald

Hexamethyldisiloxan (HMDSO) ist eine siliziumorganische Verbindung, die häufig als Präkursor bei der Dünnschichtabscheidung mittels plasmagestützter chemischer Gasphasenabscheidung (PECVD) Anwendung findet. Um das physikalische Verständnis der Beschichtungsprozesse besser zu verstehen, werden im Rahmen des Forschungsclusters „Optimierung der Gasausnutzung bei Atmosphärendruck-Plasmaprozessen“ (www.ogaplas.de) grundlegende Untersuchungen zur Aufdeckung der plasmachemischen Reaktionspfade von HMDSO und ihrer Wirkung auf die Zusammensetzung und Struktur der abgeschiedenen Schicht durchgeführt. Der vorliegende Beitrag stellt die wesentlichen primären und sekundären plasmachemischen Prozesse und deren Reaktionsprodukte im Effluenten eines Argonplasmajets bei Atmosphärendruck vor. Die verfügbaren Daten und die Bedeutung der verschiedenen Elektronen- und Schwerteilchenstoßprozesse werden diskutiert. Ergebnisse von hydrodynamischer Modellierung des Plasmajets deuten daraufhin, dass die Fragmentierung von HMDSO durch Stöße mit Argonmolekülionen initiiert wird, während Penningprozesse für die Reaktionskinetik im Effluenten eine untergeordnete Rolle spielen.

Die Arbeiten werden durch die Deutsche Forschungsgemeinschaft unter dem Geschäftszeichen LO 623/3-1 unterstützt.