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P: Fachverband Plasmaphysik

P 21: Plasma Technology II

P 21.4: Talk

Thursday, March 20, 2014, 11:45–12:00, SPA HS201

Atmosphärendruck-Plasmamodifikation optischer Eigenschaften von Siliziumdioxid — •Christoph Gerhard^1,2, Stephan Wieneke^1,2 und Wolfgang Viöl^1,2 — ¹HAWK, Göttingen, Deutschland — ²Fraunhofer IST-APP, Göttingen, Deutschland

In diesem Beitrag wird die Modifikation optischer Eigenschaften von Siliziumdioxid, dem Hauptbestandteil optischer Gläser, mittels wasserstoffhaltigen Atmosphärendruckplasmen vorgestellt. Hierbei wird eine gezielte plasmainduzierte chemische Reduktion von Siliziumdioxid zu Siliziumsuboxid sowie eine Einlagerung von Wasserstoff in das Bulkmaterial initiiert. Als Folge der resultierenden Stöchiometrieänderung können so relevante optische Eigenschaften wie der Brechungsindex und die damit verbundenen Reflexions-, Transmissions- und Dispersionseigenschaften modifiziert werden. Die zugrunde liegenden chemischen Modifikationen der Siliziumdioxidmatrix werden anhand von massen- und röntgenspektroskopischen Untersuchungen dargestellt. Darüber hinaus werden plasmainduzierte Änderungen der optischen Eigenschaften auf Basis spektroskopischer und ellipsometrischer Messungen präsentiert sowie bereits umgesetzte Anwendungen einer solchen Modifikation, etwa zur Laserbearbeitung transparenter Medien, vorgestellt.