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DS: Dünne Schichten

DS 18: Harte Schichten III

DS 18.1: Talk

Tuesday, March 18, 1997, 15:15–15:30, PC 7

Thermisch–induzierte, strukturelle Änderungen an plasma-deponierten Kohlenwasserstoffschichten — •W. Jacob, F.–P. Bach und R. Beckmann — Max–Planck–Institut für Plasmaphysik, Boltzmannstr. 2, D–85748 Garching b. München

Wasserstoffhaltige Kohlenstoffschichten (C:H) wurden über einen weiten Parameterbereich aus Methan–Plasmen abgeschieden und anschließend mit Hochenergie–Ionenstrahl–Analyse (IBA), Infrarot– (FTIR) und thermischer Desorptionsspektroskopie (TDS) untersucht. Bei hartenSchichten ist H₂ das dominante TDS-Signal mit Maxima bei etwa 850 und 1150 K und trägt zu etwa 90% zur gesamten Wasserstoffdesorption bei. CH₄ desorbiert ebenfalls bei etwa 850 K. Bei weichen Schichten dominieren C_xH_y Spezies die Gesamtdesorption, die schon bei Temperaturen ab etwa 600 K erfolgt. TDS gibt keinerlei Hinweise auf die Existenz größerer Mengen an ungebundenem H₂ in den Schichten. Zur weiteren Untersuchung der thermisch–induzierten Änderungen wurden die Proben auf charakteristische Temperaturen erhitzt und nachfolgend mit IBA und FTIR vermessen. Es zeigt sich, daß das Integral über die CH–Vibrationsbande bei etwa 3000 cm⁻¹ keinen einfachen, linearen Zusammenhang mit dem H-Gehalt aufweist, wie es häufig in der Literatur angenommen wird. Die Analyse der IS–Spektren der getemperten Proben liefert deutliche Hinweise zu deren quantitativer Interpretation.