Münster 1997 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 18: Harte Schichten III

Dienstag, 18. März 1997, 15:15–16:15, PC 7

	15:15	DS 18.1	Thermisch–induzierte, strukturelle Änderungen an plasma-deponierten Kohlenwasserstoffschichten — •W. Jacob, F.–P. Bach und R. Beckmann
	15:30	DS 18.2	Erosion von a–C:H-Schichten in O2, H2O, und O2/H2 Plasmen: Erosionsmessungen, Massenspektrometrie und Oberflächen-analytik — •Bernhard Landkammer, Achim von Keudell und Wolfgang Jacob
	15:45	DS 18.3	Eigenschaften amorpher hydrogenisierter Bor (a–B:H) Schichten — •A. Annen, M. Sass und W. Jacob
	16:00	DS 18.4	Zusammensetzung, Struktur und Erosionsverhalten amorpher hydrogenisierter Bor–Kohlenstoff (a–B/C:H) Schichten — •A. Annen, A. von Keudell, M. Sass und W. Jacob