Münster 1997 – scientific programme
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DS: Dünne Schichten
DS 7: Diamant I
Monday, March 17, 1997, 15:15–16:15, PC 7
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15:15 | DS 7.1 | Modell für die Bildung diamantähnlicher Phasen durch Ionendeposition — •H. Hofsäss und C. Ronning |
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15:30 | DS 7.2 | In-situ Messung der Filmspannungen während der Gasphasenabscheidung von Diamantschichten auf Silizium — •T. Baur, R. Fehling, M. Schreck und B. Stritzker |
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15:45 | DS 7.3 | Tieftemperatur-CVD-Diamantabscheidung mittels halogenhaltiger Precursor-Gase — •Ingo Schmidt und Carsten Benndorf |
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16:00 | DS 7.4 | Verlust der epitaktischen Orientierung bei der Mikrowellenplasma-CVD von Diamant unter Biasbedingungen — •K.-H. Thürer, M. Schreck und B. Stritzker |