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HL: Halbleiterphysik

HL 21: Amorphe Halbleiter

HL 21.4: Talk

Tuesday, March 18, 1997, 16:45–17:00, H4

Zeitaufgelöste Messungen der Photolumineszenz an amorphem wasserstoffhaltigem Kohlenstoff — •W. Lormes, M. Hundhausen und L. Ley — Institut für Technische Physik, Universität Erlangen-Nürnberg, 91058 Erlangen

Wir untersuchen amorphe wasserstoffhaltige Kohlenstoffproben, die in einem plasma–unterstützten CVD Prozeß deponiert wurden. Mit steigender an der Substrathalterung angelegter Bias–Spannung findet ein Übergang von polymerartigen zu harten Schichten statt.

Besonders polymerartige Proben zeigen eine ausgeprägte sichtbare Photolumineszenz, die wir zeitaufgelöst gemessen haben. Die polymerartigen Proben zeigen mit einer Lebensdauer τPL=0.2 ns den schnellsten Abfall der Photolumineszenz, der sich mit zunehmender Bias–Spannung auf etwa 1 ns verlangsamt. Wir finden, daß τPL von der Intensität des zur Anregung verwendeten Laserlichts unabhängig ist.

Diese Ergebnisse sprechen gegen die Übertragung des von amorphem Silizium bekannten Modells, bei dem die Lumineszenz auf Rekombination räumlich getrennter Elektronen und Löcher zurückgeführt wird. Vielmehr scheinen sowohl Absorption als auch strahlende Rekombination in einer stark lokalisierten Umgebung des Materials stattzufinden.

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