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Regensburg 1998 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 3: Harte Schichten I

Monday, March 23, 1998, 14:00–15:00, H 31

14:00 DS 3.1 Fachvortrag: Bildung und Relaxation von kompressivem Stress in ionenstrahldeponierten ta-C Schichten — •Hans Hofsäss, Michael Sebastian, Horst Feldermann, Rainer Merk und Carsten Ronning
14:15 DS 3.2 Fachvortrag: Molekulardynamische Untersuchung des Schichtsystems Diamant / amorpher Kohlenstoff / Silizium — •Florin Fugaciu, Helmut Hermann, Gotthard Seifert, Thomas Heine und K. Wetzig
14:30 DS 3.3 Fachvortrag: Synthese, Charakterisierung und Anwendungen dünner Schichten aus Fluorhaltigem tetraedrisch gebundenem amorphem Kohlenstoff (ta-C:F) — •Rainer Merk, Markus Restle, Horst Feldermann und Hans Hofsäss
14:45 DS 3.4 Fachvortrag: Prinzip und Eigenschaften einer Zweikreis-Plasmastrahlquelle — •M. Mayer, M. Haag und H. Oechsner
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