Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 1: Pumpen

Montag, 23. März 1998, 09:30–11:30, H48

	09:30	VA 1.1	Hauptvortrag: Anforderungen der Halbleiterfertigung an Vakuumpumpen — •P. Reimer und D. Smith
	10:10	VA 1.2	Fachvortrag: Compound-Vakuumpumpen für hohe Gasdurchsätze — •C. Reese, H. Lotz und A. Conrad
	10:30	VA 1.3	Fachvortrag: Völlig ölfreie neue Vorvakuumpumpe für saubere Anwendungen — •R. Bahnen und G. Hauck
	10:50	VA 1.4	Fachvortrag: Charakteristische Eigenschaften von Turbopumpen — •P. Klingner, S. Ernst, F.J. Schittko und H.G. Stüber
	11:10	VA 1.5	Fachvortrag: Temperatureffekte in Turbopumpen — •F.J. Schittko